1.用于光学测试的基本干涉仪
2。相移干涉术
3。专业光学测试
4。长波长干涉术
5。非球面试验
6。表面微观结构的测量
7。绝对测量
8。结束语
第1部分-光学测试用基本干涉仪
(1)双光束干涉
(2)菲佐干涉仪和特维曼-格林干涉仪
(3)测试平面和球面的基本技术
(4)球面的基本测试技术
(5)散射板和斯马特干涉仪
(6)侧向剪切干涉仪
(7)典型干涉图
(1)双光束干涉
正弦干扰条纹
(2) 菲佐干涉仪
用斐索干涉仪获得典型干涉图
表面高度误差与边缘偏差的关系:
->凹曲面和凸曲面的菲索条纹
->特维曼-格林干涉仪（平面）
->特维曼-格林干涉仪（球面）
->菲索干涉仪激光源（平面）
->斐索干涉仪激光源（球面）
测试高反射率表面
山丘或山谷
-> 散射板干涉仪
->散射板显微图像
散射板干涉仪
散射板干涉图
-> Smartt点衍射干涉仪
-> 横向剪切干涉术
横向剪切边缘
是被测波面
当
获得亮条纹
Average over shear distance
测量剪切距离上的斜率平均值
-> 准直测量
典型横向剪切干涉图
横向剪切干涉仪
干涉图球面像差
干涉图小散光，矢状位焦点
干涉图大范围散光，矢状位焦点
干涉图大范围散光，中间焦
干涉图
大昏迷，倾斜度变化
改变焦点的干涉图
干涉图组合像差
