半导体runcard是指在半导体制造过程中，用于记录和管理生产过程中的关键参数和数据的一种系统或方法。runcard可以是纸质的记录方式，也可以是电子化的管理系统。在半导体行业中，runcard的使用非常广泛，它涉及到从原材料检验、晶圆加工、测试到最终产品出货的每一个环节。

runcard的概念在不同的文献中有不同的应用和解释。例如，pi run通常指的是在调整某个工艺配方时，先用非产品的晶圆做实验，以收集数据并观察变化。这表明runcard在工艺调整和实验验证中起到了重要的作用。

电子RunCard系统(eRunCard)的介绍显示，传统的纸本RunCard已经被全面自动化，通过整合制程、制造与设备相关生产现场信息，实现了生产管理的电子化和自动化。这种自动化不仅提高了效率，还减少了人为错误的可能性。

另一方面，分片单（split runcard）的概念说明了在进行实验或生产（研发实验、制程参数调整、或是客户要求的制程条件修正）时，可能需要从主流程中分离出来，跑不同的条件7。这操作模式的自动化对于提高生产效率和质量控制具有重要意义。而且，随着技术的发展，如何创建附加的CIM系统来支持分片单的操作已成为研究的重点。

还有一种情况，从主流程中分离出来的一批或几批产品。这种操作通常需要手动进行，因为它涉及到对特定条件下的产品进行测试或调整。split runcard的操作长期以来被视为一种手动操作，在半导体环境中不仅设备处于手动模式，而且工厂用户无法追踪与批次相关的信息。split runcard的自动化是通过创建一个附加的CIM系统来实现的，这个系统描述了如何操作

在半导体制造中，split runcard用于从主FLOW上开分片单，跑不同条件下的实验。这种方法允许制造商在不影响主生产流程的情况下，测试新的工艺条件或对现有工艺进行微调。此外，split runcard还涉及到对设备兼容性的考虑，因为分批的产品可能需要与主生产批次不同的设备。

对于，需要用runcard来管理制程，此种情况下产生的runcard 称之为split runcard (批次拆分流程卡)，简称src。

半导体runcard是一个涵盖从原材料检验到最终产品出货的全过程管理工具，它既可以是传统的纸质记录方式，也可以是现代的电子化管理系统。无论哪种形式，runcard都对确保半导体生产的高质量和高效率起着至关重要的作用。