扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种强大的分析工具，广泛应用于材料科学、生物学、医学、半导体材料和化学化工等领域。SEM能够提供高分辨率的表面形貌图像，因此样品制备成为获取准确、清晰图像的关键步骤。本文详细解析了SEM样品制备的要求和方法。

一、SEM样品要求

1. 样品不含水分

湿样品的蒸汽会降低真空度，影响图像清晰度，并可能导致电子束与水蒸气反应，缩短设备寿命。因此，大多数生物样品和所有湿态样品都需要经过干燥处理。

2. 样品不含挥发物、污染物

挥发物和污染物会污染设备部件，降低成像信号和探测器效率。因此，样品制备过程中需要去除这些物质，确保样品表面清洁。

3. 样品具有导电性

SEM成像依赖于二次电子和背散射电子信号。不导电样品表面会积累多余电子或游离粒子，影响信号传递。因此，不导电样品需要进行导电处理，如镀金或镀碳。

二、SEM制样方法

根据样品类型、形态、导电性能和观测要求，选择合适的制样方法。

1. 块体样品

块体样品应尽量小，避免超过电镜样品台尺寸。使用导电胶将样品粘结在样品台上。对于不导电或导电性差的样品，需要进行镀膜处理。

2. 粉末样品

将导电胶带粘在样品台上，将粉末样品均匀撒在导电胶上，用压缩空气吹去未黏住的样品。对于不导电或导电性差的样品，需要进行镀膜处理。

3. 液体样品

使用薄铜片作为载体，将导电胶粘在样品台上，将液体样品滴在铜片上，等待溶剂挥发干燥后进行喷镀处理和SEM测试。

4. 生物样品

生物样品制备较为复杂，包括取样、清洗、固定、脱水、干燥、粘样和导电处理。需要选用适当的干燥方法，确保样品表面形貌不受损伤。

三、注意事项

1. 确保样品表面无污染、无皱缩、无明显人工损伤和附加结构。

2. 镀重金属膜时，控制膜厚，确保膜层不会掩盖样品本身结构。

3. 需要进行EDS定量分析时，不能镀金属膜，以免影响X射线吸收。

4. 粉末样品厚度要均匀，量不宜过多，避免影响喷金效果。

SEM样品制备是获取准确、清晰图像的关键。了解样品要求和制备方法，遵循注意事项，将有助于提高SEM分析效果。

泽攸科技ZEM18台式扫描电镜

安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司， 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来，研发团队一直致力于为纳米科学研究提供卓越的仪器。目前，公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统、原位SEM测量系统、ZEM系列台式扫描电镜、JS系列台阶仪、纳米位移台、二维材料转移台、探针台及低温系统、光栅尺等在内的多个产品线，在国内外均获得了高度关注，填补了国家在高端精密仪器领域的诸多空白。