SECS/GEM300需要实现哪些内容

GEM300实现设备全自动化,也是金南瓜已经全面支持功能,作为国内首家和最好的300mm标准软件。

GEM300包含E4、E5、E30、E37、E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116等

CJob全称Conrtol Job

1. 控制设备作业的控制

2. 包括队列、开始、暂停、继续、完成等等。

3. 控制作业状态的实时状态

PJob全称Process Job

1. 作用是控制作业,包括队列、开始、暂停、继续、完成等等。

2. 了解设备的实时作业状态

3. 控制设备run to run功能

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