知
识星球(星球名:
芯片制造与封测社区,星球号:
63559049)里的学员问:
2,
4,
6寸硅片都有
平
边,它们有什么作用
?
Flat也可以被称为定位边。2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边位置不固定,跟随晶向与掺杂类型发生变化。 定位边位置与晶向的关系?
一般2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。
Flat也可以被称为定位边。2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边位置不固定,跟随晶向与掺杂类型发生变化。 定位边位置与晶向的关系?
一般2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。