薄膜沉积的均匀性怎么计算?


   知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:经常听带我的工程师说膜层的均匀性不好,均匀性是怎么计算的?

什么是薄膜沉积的均匀性?薄膜均匀性指的是薄膜在整个晶圆上的厚度分布的一致性。良好的均匀性说明薄膜在晶圆上的每个位置的厚度非常接近。 薄膜均匀性有几种?一般会考虑:片内均匀性(within-wafer uniformity)、片间均匀性(wafer-to-wafer uniformity)和批次间均匀性(lot-to-lot uniformity)。 均匀性如何计算?
以片内均匀性为例,计算其标准偏差:

dc7c809b3a817235b2b74e45acb3dacc.jpeg

该公式计算了各个数据点与数据均值之间的差异的平方平均值,然后取其平方根。

σ(标准偏差):表示数据分布的离散程度,标准偏差越大,数据的离散程度越大。

N:所测的数据点的总数。

ti:第 𝑖个数据点的厚度值。

Mean:所有数据点的平均值。

(𝑡𝑖−Mean)2:每个数据点与平均值之间差异的平方。

∑:相加。

8f3c62bef4a2f52aa1bcf64f4924f518.jpeg

公式比较难以理解,举例说明:

假设有一组薄膜厚度数据点:55.1,54.8,55.3,54.9,55.0,54.7,55.2,54.9,55.1,54.8计算其标准偏差?

1 , 首先,计算这10个点的均值: Mean =54.982,再计算每个厚度与均值的差的平方分别为:0.0144,0.0324,0.1024,0.0004,0.0004,0.0784,0.0484,0.0004,0.0144,0.03243,求和并取平值 (0.0144+0.0324+0.1024+0.0004+0.0004+0.0784+0.0484+0.0004+0.0144+0.0324)=0.39964,σ=0.193 4e6b8e95eb082db6860c8f4f27a0966e.jpeg       欢迎加入我的半导体制造知识社区,答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升个人能力,介绍如下:》


557826063dd2e71ae338250b51a5bad1.jpeg


本文来自互联网用户投稿,该文观点仅代表作者本人,不代表本站立场。本站仅提供信息存储空间服务,不拥有所有权,不承担相关法律责任。如若转载,请注明出处:http://www.mzph.cn/pingmian/19728.shtml

如若内容造成侵权/违法违规/事实不符,请联系多彩编程网进行投诉反馈email:809451989@qq.com,一经查实,立即删除!

相关文章

Leetcode刷题笔记7

69. x 的平方根 69. x 的平方根 - 力扣(LeetCode) 假设求17的平方根 解法一:暴力解法 从1开始依次尝试 比如1的平方是1,2的平方是4...直到5的平方,25>17,所以一定是4点几的平方,所以等于4…

WSL2-Ubuntu22.04-配置

WSL2-Ubuntu22.04-配置 准备1. WSL相关命令[^1]2. WSL2-Ubuntu22.04可视化3. WSL2 设置 CUDA4. 设置OpenGL 本文介绍了WSL2的基本使用方法及可视化,着重介绍了GPU和OpenGL的设置。 准备 名称版本windows11wsl2CUDA12.5 1. WSL相关命令1 查看已安装的wsl distribut…

官方小游戏项目

一 项目原理:看广告,操作简单,时间自由,适合利用业余时间来做,一个广告大概在15s-30s之间。 二 介绍:给你开代理权限,你就有独立后台管理系统,监测每台手机每条广告的情况&#xff0…

MySQL数据表的“增删查改“

我们学习数据库, 最重要的就是要学会对数据表表进行"增删查改"(CRUD).(C -- create, R -- retrieve, U -- update, D -- delete) 目录 一. "增"(create) 1. 普通新增 2. 指定列新增 3. 一次插入多行 4. 用insert插入时间 5. 小结 二. "查"…

AI科技,赋能企业财务管理

AI技术已深入千行百业,其实际任务解决能力愈发凸显和强劲。正如乔布斯所强调“技术不是为工程师而生,而是为应用而生”。 胜意科技深度集成业内领先技术,将AI融入到实际的财务工作流中,与OCR、RPA等智能技术组合式输出&#xff0c…

Qt-qrencode生成二维码

Qt-qrencode开发-生成二维码📀 文章目录 Qt-qrencode开发-生成二维码📀[toc]1、概述📸2、实现效果💽3、编译qrencode🔍4、在QT中引入编译为静态库的QRencode5、在Qt中直接使用QRencode源码6、在Qt中使用QRencode生成二…

Electron下载插件 or 固件至本地

最近有个特殊需求,由于路由器PCB板子是办公类型,无线传输类型,在特定情况下没有网络支持。则桌面应用程序里面的远程升级路由器功能无法使用,则就需要将OTA升级降至本地通过局域网的HTTP请求去实现。 1.下载代码 Downloads(url){…

BCC编程入门:揭开复杂面纱,探索编程之美

BCC编程入门:揭开复杂面纱,探索编程之美 BCC编程,对于初学者来说,仿佛是一个充满神秘与困惑的迷宫。然而,只要我们勇敢地踏入这片领域,逐步探索,便能够发现其中的奥秘与乐趣。本文将从四个方面…

Django Celery技术详解

文章目录 简介安装和配置创建并调度任务启动Celery Worker在视图中调用异步任务拓展功能 简介 Django Celery 是一个为Django应用程序提供异步任务处理能力的强大工具。它通过与消息代理(如RabbitMQ、Redis)集成,可以轻松地处理需要长时间运…

接口用例设计

设计接口用例的目的是为了提升工作效率,防止遗漏 并且能够通过用例,来实施测试监控 设计思路 功能 单个接口测试 接口业务场景测试(过接口组合测试) 性能 响应时间 吞吐量 服务器资源使用率 错误率 并发数 安全 敏感信息是…

LAMP分布式安全方案搭建网页 (LinuxCentOS7+Apache+Mariadb+PHP)包括服务端口及防火墙规则配置

目录 一、实验目的 二、设计方案及规划 三、实验内容及步骤 (1)实验前基础配置 (2)Test配置,安装Firefox浏览器和图形界面 (3)Web安装Apache (4)Database安装Mari…

微服务架构-微服务架构的挑战与微服务化的具体时机

目录 一、微服务架构的挑战 1.1 概述 1.2 服务拆分 1.3 开发挑战 1.4 测试挑战 1.4.1 开箱即用、一键部署的集成环境 1.4.2 测试场景和测试确定性 1.4.3 微服务相关的非功能测试 1.4.4 自动化测试 1.5 运维挑战 1.5.1 监控 1.5.2 部署 1.5.3 问题追查 1.5.4 依赖管…

高等教育的AI革新:OpenAI面向大学推出ChatGPT Edu

OpenAI推出了ChatGPT Edu,这是一个为大学设计的专用版本,旨在让学生、教职员工、研究人员和校园运营能够负责任地使用AI。 ChatGPT Edu 将AI技术引入了教育领域,其建立在GPT-4o的基础上,它不仅能够处理文本和图像,还…

【线性代数】【一】1. 1 线性方程组与线性组合

文章目录 前言一、线性方程组的求解1.1 直线的交点1.2 向量的加权求和 二、线性组合的表示范围三、线性方程组的解的分析总结 前言 有段时间没更新了,准备开个新坑,写点数学基础相关的内容,计划先过一遍线性代数,再扩展到矩阵论&…

更改 Docker 的默认存储位置

记录一下使用 Docker 遇到的问题,Docker 也用得比较多,最近发现根目录所在磁盘快满了,发现是 Docker 默认会将镜像和容器等数据保存在目录 /var/lib/docker 目录下,我们可以更改 Docker 的默认存储位置,比如改到数据盘…

【机器学习】深入探索机器学习:线性回归算法的原理与应用

❀线性回归算法 📒1. 引言📒2. 线性回归的基本原理🎉回归方程🎉最小化误差🎉线性回归的假设条件 📒3. 线性回归算法的实现📒4. 线性回归算法的特征工程📒5. 线性回归模型评估与优化&…

【学习笔记】数据结构(二)

线性表 文章目录 线性表1、线性结构2、线性表2.1 线性表定义2.2 类型定义2.2 顺序存储结构(Sequence List)2.3 链式存储结构2.3.1 单链表2.3.2 循环链表2.3.3 双链表2.3.4 单链表、循环链表、双向链表的时间效率比较2.3.5 链式存储结构优缺点 2.4 顺序表…

【数字化风向标】合合信息重磅登陆CDIE 2024:引领创新,门票惊喜大放送!

官.网地址:合合TextIn - 合合信息旗下OCR云服务产品 6月25-26日,CDIE 2024 数字化创新博览会将在上海张江科学会堂举行。本届展览规模3300㎡,展位数量100,重点打造四大核心特色主题展区,包括行业数字化创新展区、企业…

Leetcode 105:从前序与中序遍历序列构造二叉树

给定两个整数数组 preorder 和 inorder &#xff0c;其中 preorder 是二叉树的先序遍历&#xff0c; inorder 是同一棵树的中序遍历&#xff0c;请构造二叉树并返回其根节点。 public static TreeNode buildTree(int[] preorder, int[] inorder) {map new HashMap<>(); …

智和信通助力中国移动湖南某市分公司县级政府外网运维项目

中国移动湖南某市分公司承建市下属某县政务外网网络建设项目&#xff0c;且在网络建设完工后&#xff0c;承担起运维职责&#xff0c;随着工作的推进市移动公司发现仅靠人力难以高效开展运维工作。 设备类型&#xff1a;OLT、ONU等通信设备 设备品牌&#xff1a;华为、中兴等…