【碳化硅】陷阱(traps)对SiC MOSFET阈值电压漂移的影响

这篇文章是关于硅碳化物(SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的阈值电压漂移问题的研究。文章的主要目的是通过研究不同的陷阱(traps)对阈值电压漂移的影响,来解决SiC MOSFET的可靠性问题。

摘要(Abstract)

文章提出了一种研究方法,用于分析影响SiC MOSFET阈值电压漂移的不同陷阱的规律,并明确了导致SiC MOSFET阈值电压漂移的主要陷阱。通过瞬态电流法(transient current method)对陷阱进行表征,排除了SiC体陷阱的干扰,准确获得了栅氧陷阱的时间常数谱(time constant spectrum)。研究发现,导致SiC MOSFET阈值电压漂移的主要陷阱时间常数为300毫秒,而其他陷阱主要影响电流,对阈值电压漂移的贡献较小。此外,基于不同陷阱的激活能(activation energies),推断出陷阱的捕获机制是陷阱辅助隧穿效应(trap-assisted tunneling effect)和热电子发射效应(hot electron emission effect),相应的陷阱类型分别是氧

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