真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体设计制作要考虑容积、材质和形状。

1、根据应用需求选择腔体形状。几种代表性的真空腔体包括垂直真空腔体、水平真空腔体、立方真空腔体和球形真空腔体。

2、根据获得真空度选择腔体材质。钛用于极高真空；铝用于超高真空；不锈钢用于高真空。

3、法兰：CF法兰，是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤，适用的真空度最高达到10-12mbar。KF法兰，应用在真空系统中的一张快卸法兰，它由以下几个元件构成：两个成对称分布的KF法兰、O-Ring、定心支架、卡箍。不需要是用别的东西，只要简单地用手拧动蝶形螺母就可以松开或压紧连结、适用于真空度最高达到10-8mbar。

4、观察窗：观察窗是安装在真空鼻腔上的一个窗口零部件，可以通过该窗口传输紫外线、可见光及红外线等各种光波及电磁波。锦正茂科技生产可拆卸观察窗是在标准法兰上进行加工，可以安装玻璃片的一种视窗，可以更换不同材质的窗片，一般采用石英窗片，也可以选硅硼窗片等其他特殊光学窗片。