【光学镀膜】-- USPM反射率、LAB

系列文章目录

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前言
一、OLYMPUS(奥林巴斯)
- 1.实现高速测定
- 2.最适用于测定细小部件、镜片的反射率
- 3.测定反射率时，不需要背面防反射处理
- 4.可选择的膜厚测定方法
二、USPM-RU III
- 1.介绍
- 2.特点
- 3.参数
- 4.光源
- 5.特长
- 6.测定原理
- 7.规格
三、USPM-W
- 1.特征
- 2.选定物镜
四、包装
总结

前言

日本OLYMPUS(奥林巴斯)

测定反射率
测定膜厚
测定物体颜色
测定透过率
测定物体颜色XY色度图、LAB色度图
测定入射角为45度的反射率

一、OLYMPUS(奥林巴斯)

1.实现高速测定

使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定，从而实现高速测定。

在这里插入图片描述

2.最适用于测定细小部件、镜片的反射率

在这里插入图片描述

3.测定反射率时，不需要背面防反射处理

在这里插入图片描述

4.可选择的膜厚测定方法

在这里插入图片描述

二、USPM-RU III

1.介绍

USPM-RU III反射率可测当前分光仪无法测量的微小，超薄样本的光谱反射率，不会与样本背面的反射光产生干涉；
适合测量曲面反射率、镀膜评价、微小部品反射率测定系统；
消除背面反射光；
测定微小区域的反射率
测定时间短
支持XY色度图、LAB测定；
可以测定高强度镀膜膜厚；

2.特点

采用特殊光学系统，消除背面反射光
不必进行背面的防反射处理，可正确测定表面的反射率
用物镜对焦于样本表面的微小光斑，可以测定镜片曲面及镀膜层是否均匀
使用了Flat Field Grating和线传感器的高速分光机构，可以进行快速，再现性很高的测定
可以依据分光测色法，通过分光反射率测定物体颜色
采用干涉光分光法，可以在不接触、无损的情况下测定被检测的膜厚（单层膜）

3.参数

项目	参数
测定波长	380nm-780nm
测定方法	与参照样本的比较测定
被测物N.A.	0.12(10x物镜)、0.24(20x物镜)、
被检物W.D.	10.1mm(10x物镜)、3.1mm(20x物镜)
被检物的曲率半径	-1R ～-∞、+1R～∞
被检物的测定范围	约ø60 μm（使用10×物镜时）、约ø30 μm（使用20×物镜时）
测定再现性（2σ）	±0.1%（380 nm～410 nm测定时）、±0.01%（410 nm～700 nm测定时）
显示分辨率	1 nm
测定时间	数秒～十几秒（因取样时间而异）
光源规格	卤素灯　12 V 100 W
载物台Z方向驱动范围	85mm
PC接口	USB方式
装置重量	机身：约20 kg（PC、打印机除外）、光源用电源：约3 kg 、控制器盒：约8 kg
装置尺寸	机身： 300（W）×550（D）×570（H） mm 、光源用电源： 150（W）×250（D）×140（H） mm 、控制器盒： 220（W）×250（D）×140（H） mm
电源规格	光源用电源： 100 V（2.8 A）/220 V AC 、控制器盒： 100V（0.2A）/220V AC
使用环境	水平且无振动的地方、温度： 23±5 °C 、湿度： 60%以下、无结露

4.光源

光源按照1天8小时使用，大约3年或按照通电时间约15000小时中短的为主；

5.特长

测定时间短：通过使用平面光栅及线路传感器进行高速分光；
阻断内面反射噪音：使用环状照明，切断内面反射的噪音，不进行防止内面反射的处理，就可以正确测定表面反射率
测定微小面积：由于利用物镜，将约60um(使用10x物镜)的点与被测面连接，因此还可以测定镜头曲面及喷涂不均；
灵活：可以各个比较测定用基准的反射率作为基准值进行设置，因此可以比较灵活的测定；

6.测定原理

在这里插入图片描述
在图中，照射环状遮罩的光束通过准直仪镜头成为平行光束，利用半透明反射镜进行反射，穿过物镜，在样品面上按照约60[um]（使用10x物镜时）进行聚光。
然后，该样品面上的反射光再次返回物镜，分为穿过半透明反射镜的光束与被半透明反射镜折回，面向准直仪镜头的光束。穿过半透明反射镜的光束可以经过成像镜头，利用目镜进行观察。面向准直仪镜头的光束经过准直仪镜头及半透明反射镜，在FS2：视野光圈上聚光。
在这里，FS2发挥了防止光斑的作用。而且，端面上的像被平面场光栅分开，在镜子上反射后，测定分光能量。
而且，通过将半透明反射镜配置在成像镜头与准直仪镜头之间，可以利用目镜进行物镜与被检测面的聚焦。
此外，为了消除测光时来自目镜的外部光，目镜前的目镜快门在测定背景、参照及样品时将分别自动关闭。

7.规格

项目	规格
点直径	60um（10x物镜）、30um（20x物镜）
灯泡	卤素灯12V100W

三、USPM-W

1.特征

宽带测定：可以在波长380nm~1050nm的宽带中进行分光特性的测定；
微小区域测定：可以在球面、微小光学部件的微小区域φ70um(安装选配件40倍物镜时，最小为φ17um)上测定表面反射率；
薄板测定：可以进行板厚为1mm（安装选配件40倍物镜时，最薄为0.15mm）的测定；
镜片周边地区的反射率测量：通过使用旋转台，镜片周边地区的反射率测量变的容易；

2.选定物镜

型号	USPM-OBL10	USPM-OBL20	USPM-OBL40
倍率	10x	20x	40x
NA	0.12	0.24	0.24
测定范围(点直径)	70um	35um	17.5um
工作距离	14.3mm	4.2mm	2.2mm
试料的曲率半径	±5mm~	±1mm~	±1mm~
试料的厚度	1.0mm以上	0.5mm以上	0.2mm以上