炉管设备的内部构造详解

    知识星球(星球名:芯片制造与封测社区)里的学员问:炉管设备(立式)的内部构造是怎样的?


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如上图,是一个典型的: 上半部:
Heating Element(加热线圈): 位于炉管周围,通常由电阻丝构成,用于对炉管内部进行加热。Quartz Tube(石英管): 热氧化炉的核心部分,由高纯度石英制成,可以耐受高温并保持化学惰性。Gas Feed(气体供应口): 位于炉管的上端或侧面,用于输送氧气或其他气体到炉管内部。 SS Flange(法兰):连接石英管和气体线路的部件,确保连接的密封性和稳定性。 Gas Feed Lines:连接MFC和气体供应口的管道,用于传输气体。 MFC(质量流量控制器):控制石英管内部气体流量的设备,以精确调节所需的气体量。 Vent(排气口):用于将炉管内部的废气排出设备外部。 下部Silicon Wafers in Holder: 硅片安放在特制的Holder中,以确保在氧化过程中均匀地受热。 W afer Holder 用于固定硅片,确保硅片在工艺过程中保持平稳。Pedestal: 承托硅片 Holder的结构,通常由耐高温材料制成。 Elevator(升降机) 用于将硅片Wafer Holder升入和降出石英管,实现自动化装载和卸载硅片。Wafer Transfer Robot: 位于炉管设备的侧面,用于自动化地将硅片从盒中取出并放入炉管内,或者在处理完毕后将其取出。Cassette Storage Carousel: 用于存放含有硅片的盒子,并能旋转以便机器人取用。Wafer Cassette: 晶圆盒,用于存放和传输待处理的硅片。

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